クリーン ルームで使用されるエア フィルターには、折り畳み式フィルター、バグ フィルター、拡張表面 V 字型フィルター、ボックス フィルター、折り畳み式フィルターなどと呼ばれるさまざまな形式があります。家庭用空気浄化システムでは、正方形またはバブル パネル フィルターが最も一般的に使用され、職場。住宅用空気処理システムに使用される空気浄化装置は、広義にはグラスファイバーフィルター、タイプフィルター、洗浄して再利用できるフィルター、エレクトレットフィルター、深プリーツフィルター、電子空気清浄機の6つに主に分類できます。電子空気清浄機を除くすべてのケースで繊維メディアが使用されます。より厳しい要件の場合は、HEPA/ULPA フィルターを使用してください。
クリーンルーム製造業者は空気粒子を非常に重要視しており、ほとんどのクリーンルーム設計および製造企業の目標は、サイズ 0.5 以上の空気粒子を除去することであり、これは通常、クリーンルーム エア フィルターの機能です。しかし、一部の業界では現在、室内空気汚染のほとんどが有害な非生物剤および生物剤によるものであるため、より小さな空気粒子基準を実施しています。したがって、クリーン ルーム システムは、室内空気汚染を最小限に抑え、進行中のプロセスの要件を満たすために室内汚染物質を適切なレベルまで除去する必要があります (Sutherland、2008b)。簡易フィルターの場合は、厚さ0.1～5mmの非常に薄くて硬い不織布を使用し、筒状フィルターよりも軽量です。また、それらのほとんどはメッシュとスパンレースの混合フィルターであり、星型に成形され折り畳まれているため、紙のような外観も持ち、フィルターのより高い剛性とより大きな表面積を提供するのに役立ちます。これは、圧力降下にプラスの影響を及ぼします (圧力降下の低下)。
空気を処理するように設計されたフィルターは、大きく 3 つのカテゴリに分類されます (Sutherland、2008a)
。一次フィルターは、サイズ 5 ～ 100 メートルの大きな空気粉塵粒子のほとんどを捕捉するように設計されており、高い粉塵容量を備えています。これらは通常、比較的高い気流速度で動作できるドライパネルまたはロールフィルターです。
より微細な媒体を使用した二次フィルターは、一次フィルターを通過する直径 5 ミクロン以下の粒子などのより微細な粒子を捕捉して保持するために使用されます。これらのフィルターには、ユニットまたはパネル タイプ、バッグ タイプ、またはバッグ タイプがあり、ろ過深さが大きくなり、通常は最大風速が低くなり、約 0.12 m/s 以下になります。。超微細フィルターまたは最終フィルターは、サブミクロンの粒子であっても、非常に高い効率 (99.95% 以上) を生み出すことができます。ここでの主なタイプは HEPA フィルターと ULPA フィルターで、直径がサブミクロンメートルの高品質合成角繊維で作られ、しっかりと折り畳まれた包装形態で作られています。この場合、風速は約 003 m5 に制限されます。
HEPA フィルターと ULA フィルターは、03 メートルを超える流量で使用するように設計されています。 HEPA パフォーマーは、表面 03 以上に対して 99 99% の除去率を誇ります。 1-02μm 粒子に対する Ul PA の物質移動効率は 9 です。
上の図は、VOC フィルターと組み合わせた基本的な多段過電流システムを示しています。低効率または中効率の過電流フィルタを使用する単段システムは投資コストが最も低くなりますが、非常に微細な汚染物質は処理されません。マルチレベルシステムは大気汚染をすべて排除しますが、より多くの設備投資が必要になります。安価な一次フィルターでより高価なフィルターの寿命を延ばし、保護できるため、フィルター自体のコストは非常に低くなります。プリアッテネータ、HEPA フィルタ、ULPA フィルタを使用すると、クリーン ルーム環境で数年間使用できます。さらに、ピーク時の低空気流量と時間の経過による静圧の増加により、フィルター負荷が増加するにつれて、HEPA フィルターと ULPA フィルターの効率が向上します。
English
Pусский
